micro resist technology GmbH (Berlin)
Ormostamp – hoch innovatives Material zur Herstellung von transparenten Prägestempeln für Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich
In der Elektroindustrie werden immer mehr Bauteile auf kleinstem Raum eingesetzt. Dafür müssen Miniaturstrukturen produziert werden können. Diese werden mit lithographischen Techniken erzeugt – die Strukturen werden geprägt. Als Zukunftstechnologie gilt die Nanoimprintlithographie. Dabei werden Strukturen auf Polymerfilme „gestempelt“. Bisher werden Quarzstempel verwendet. Diese sind zwar sehr hart, haben aber eine hohe Brüchigkeit, kurze Lebensdauer, müssen zeit-aufwändig und teuer produziert werden.
Gesellschaft für chemische Materialien spezieller Photoresistsysteme mbH
Köpenicker Str. 325
12555 Berlin
+49 30 641670 100
mrt@microresist.de
www.microresist.de
Ornostamp ist ein neues, inno-vatives Material aus organischen und anorganischen Substanzen. Stempel aus diesem Material sind stabiler und länger haltbar. Damit kann eine kostengünstige und ressourcenschonende Massenproduktion von Strukturen im Nanobereich möglich werden. Für das Material Ormostamp liegt bereits dokumentiertes Interesse zahlreicher Abnehmer weltweit vor und der Einsatz des Materials zur Herstellung verschiedenster weiterer Bauteile wird als wahrscheinlich angesehen.
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